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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

フォーマット:
図書
タイトルのヨミ:
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
責任表示:
小島啓安著
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 日刊工業新聞社, 2008.8
形態:
ix, 384p ; 21cm
著者名:
小島, 啓安  
書誌ID:
BA87015099
ISBN:
9784526061196 [4526061190]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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1 図書 入門真空・薄膜・スパッタリング

Stuart, R. V., 毛利, 衛, 数坂, 昭夫

技報堂出版
7 図書 スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原, 粲(1933-)

東京大学出版会
2 図書 スパッタ技術

和佐, 清孝, 早川, 茂

共立出版
8 図書 (図解)薄膜技術

日本表面科学会, 真下, 正夫, 畑, 朋延(1938-), 小島, 勇夫

培風館
3 図書 薄膜

権藤, 靖夫(1926-), 末澤, 慶孝

共立出版
9 図書 光学薄膜

藤原, 史郎, 石黒, 浩三(1916-), 池田, 英生, 横田, 英嗣(1936-)

共立出版
4 図書 薄膜

吉田, 貞史

培風館
10 図書 薄膜工学

吉田, 貞史, 近藤, 高志, 金原, 粲(1933-)

丸善出版
5 図書 薄膜

金原, 粲(1933-), 藤原, 英夫(1935-)

裳華房
11 図書 薄膜ハンドブック

日本学術振興会薄膜第131委員会, 神山, 雅英(1911-)

オーム社
6 図書 薄膜トランジスタ

薄膜材料デバイス研究会

コロナ社
12 図書 薄膜ハンドブック

日本学術振興会薄膜第131委員会, 尾浦, 憲治郎(1941-), 吉田, 貞史

オーム社