ドライプロセス応用技術 : 超微細素子の製法

フォーマット:

図書

タイトルのヨミ:

ドライ プロセス オウヨウ ギジュツ : チョウビサイ ソシ ノ セイホウ

責任表示:

小林春洋〔ほか〕著

言語:

日本語

出版情報:

東京 : 日刊工業新聞社, 1984.7

形態:

199,6p ; 22cm

著者名:

小林, 春洋(1925-) <DA00045891>  

書誌ID:

BN00036182

ISBN:

9784526017445 [4526017442]