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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

フォーマット:
図書
タイトルのヨミ:
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
責任表示:
小島啓安著
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 日刊工業新聞社, 2008.8
形態:
ix, 384p ; 21cm
著者名:
小島, 啓安  
書誌ID:
BA87015099
ISBN:
9784526061196 [4526061190]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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